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描述：四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）測試用儀器。
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 恒奧德 |
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產(chǎn)品點(diǎn)
四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）測試用儀器。
儀器以大規(guī)模集成電路為核心件，采用旋扭式開關(guān)控制，及各種作狀態(tài)LED示。應(yīng)用微計(jì)算機(jī)，使得測量讀數(shù)更加直觀、快速。整套儀器體積小、耗低、測量度、測試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。
測量范圍 電阻率/Range：10-4—105Ω/□（可擴(kuò)展/extended range） 方塊電阻（薄層電阻） /Sheet resistance：10-3—106Ω/□ 電阻/resistance：10-6—105Ω
可測晶片直徑（zui大） φ100mm（標(biāo)配），方形230×220mm（zui大）
zui大電阻測量誤差（按JJG508-87）
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數(shù)±2個(gè)字
外形尺寸 400mm×440mm×120mm
儀器重量 電氣主機(jī)：約4kg 測試臺(tái)：約5kg
測試環(huán)境 溫度：23±2℃ 相對(duì)濕度：≤65％； 無頻干擾 無強(qiáng)光照射
電源 220V±10%（50Hz） 耗≤35W
備注 具備電腦接口
探頭
SZB-Sx系列四探針探頭是采用綜合性能優(yōu)異的分子材料、耐磨和硬度的探針研制的測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定、可靠、準(zhǔn)確度、耐用性能好四探針探頭。所有標(biāo)符合家標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)規(guī)定。
間距：1±0.01mm； 針間緣電阻≥1000MΩ； 機(jī)械游移率:≤1.0%；
探針壓力：TZT-9A/9B: 12-16牛頓（總力） TZT-9C/9D 5-8 牛頓（總力）
；www.51658042.com
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